研发成果
苏州研发
海科技术创新服务(江苏)有限公司于2021年9月在苏州工业园区注册成立,隶属于海科集团旗下,建筑面积8500㎡,项目总投资近1亿元;现以特种化学品、特种高分子材料、电子化学品、新能源材料等方向为重点,着力打造拥有测试、分析、合成等全流程研发能力的强大科研团队和研发平台,以满足客户需求,提供定制化产品开发与技术解决方案。公司共有测试、工艺设备320多台,设备投入5000万元,拥有赛默飞SEM扫描电镜、安捷伦ICP-MS电感耦合等离子体质谱仪、安捷伦顶空气质仪、日本理学X射线衍射仪等高端设备。
润晶板块研发项目数量
客户共创次数
新项目次数
给客户带来以下成果
负胶剥离液开发
配合客户降本及制程开发。开发出TMAH-PG产品,应用于负胶剥离液,降低剥离液的成本。此款负胶剥离液不仅应用于金制程去胶,同样也适用于铜制程去胶,并在客户端金、铜制程同时使用。
硅蚀刻液开发
硅蚀刻液开发:配合客户进行硅蚀刻液的开发,采用TMAH-base的硅蚀刻液能保持稳定的蚀刻速率,解决了客户蚀刻过程长期存在的硅片橘皮效应、金字塔效应,已经在稳定供货中。
TMAH+表活项目的开发
将工业级表活纯化达到半导体级表活标准,替代国外表活,经过半年测试,效果和国外一致,大大降低了成本,实现国产替代,并在客户端供货中。提高TMAH+表活产品市场竞争力。
合肥研发
合肥研发中心依托13台核心设备(蚀刻/剥离/测试)及1200万元投资,构建精密湿法工艺开发平台。配备多台MINI蚀刻机、日立SU8000 SEM及光学显微镜,保障0.5–20μm线宽控制能力。产品覆盖铜/银/铝/ITO蚀刻液、彩膜显影液与剥离液(,并打通测试分析、配方开发到工艺优化的全流程技术链。中心以客户定制为导向,提供从需求诊断到量产导入的闭环解决方案,近两年已完成超过30项配方迭代,助力半导体、显示面板及封装领域客户加速产品创新。
润晶板块研发项目数量
客户共创次数
新项目次数
给客户带来以下成果
国内首创Cu/ITO&NW兼容料液开发
配合客户降本及制程需求,首次实现兼容料液开发量产(①S/D层Cu/n+ a-Si料液(2024年量产),由湿刻+干刻,变成一步湿刻;②Gate层Cu/ITO 料液(2021年量产)两步蚀刻变成一步蚀刻;③Cu/ITO&n+ a-Si料液兼容料液2025年实验室开发完成)
MoTi铜蚀刻液开发
配合国内客户逐步由MoNb/MTD转向MoTi需求,一剂型低氟低双氧水MoTi铜蚀刻液剂研发成功,已在客户端初步验证成功。
低双氧水&高寿命一剂型铜蚀刻液开发
为持续配合客户降低铜蚀刻液成本,提高一剂型产品市场竞争力,在保证产品性能基础上,持续对添加剂&双氧水含量优化
非磷酸系新银蚀刻液
解决Ag再吸附问题的同时保证了Al damage最小化